




氦質(zhì)譜檢漏儀的進展
經(jīng)過近半個世紀的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質(zhì)譜檢漏常見問題
氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測儀器,那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢?今天科儀的小編就和大家來一起總結(jié)一下!
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體?其他氣體可以嗎?(1)在空氣中含量低(只有5 ppm),環(huán)境本底低
(2)惰性氣體不易1燃,不易1爆對環(huán)境沒有污染,不與其他物質(zhì)反應,可以混合到任意濃度
(3)無毒,可以用在食品工業(yè)
(4)在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分
(5)比空氣輕,運動速度快
(6)氣體分子很小,可以穿過微小的泄漏孔
(7)其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項。
(1)被測系統(tǒng)應盡量清潔,干燥,無油
(2)如果測量條件發(fā)生變化(溫度),需要重新對檢漏儀做內(nèi)部較準
(3)氦氣比空氣輕,噴氦法檢漏應注意方向
(4)盡量不要使用密封脂(油脂會大量吸附氦氣)
(5)不要向環(huán)境釋放大量氦氣
(6)真實的漏率信號應當是快速上升的信號,相對緩慢下降的信號
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下,單位時間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注:采用國際單位制時,漏率單位為:Pa?m3/s。
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氦質(zhì)譜檢測儀的標準器選擇
北京科儀真空技術(shù)有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,今天科儀的小編就大家來分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的標準器的選擇,希望對大家有所幫助!
標準器 采 用 滲 氦 型 標 準 漏 孔,漏 率 標 稱 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不確定度不大于 10% 。
精密玻璃溫度計,測量范圍(0 ~ 50) ℃ ,不確定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。
氦質(zhì)譜檢漏儀測量數(shù)據(jù)處理
漏率的溫度修正
標準漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ,所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致,需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,并在測試結(jié)果中加以說明,修正方法如下:
方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下,用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值;
方法二: 將標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。